Solución de sensor para el control del proceso de rectificado de obleas

El adelgazamiento de obleas es siempre un proceso crítico. Los chips ya están presentes en la oblea y cualquier falla en el proceso afecta el rendimiento y los costos de producción. Es posible un control estricto en línea de la operación de dilución en proceso utilizando medidores de contacto o sensores sin contacto, incluso en presencia de agua desionizada. Los sensores Marposs ayudan a obtener un espesor final repetitivo de la oblea.

La operación de adelgazamiento generalmente se realiza en dos pasos: esmerilado basto y esmerilado de acabado. El primero se usa para eliminar la mayor parte de la cantidad de silicio durante la operación de acabado, solo se elimina una pequeña cantidad hasta lograr el espesor final deseado, normalmente menos de 100 µm. El manómetro de contacto Marposs controla la fase de dilución aproximada y, debido a su diseño robusto, puede sobrevivir en agua desionizada sin agregar contaminantes no deseados que podrían ser peligrosos para la oblea.

Lo mismo ocurre con la serie Marposs de medidores sin contacto que son particularmente útiles en la fase de acabado donde se debe tener especial cuidado para no dañar la oblea. La medición sin contacto no es fácil dentro del entorno sucio y húmedo de una máquina rectificadora trasera; sin embargo, gracias al calibre de Marposs, esto es posible, casi independientemente de la rugosidad de la oblea y el tipo de material que se va a diluir.

Además de garantizar que se cumplan los niveles de productividad, es crucial mantener el equipo de producción en servicio a través de alarmas 'preventivas' utilizando los productos de supervisión de máquinas de Marposs. Es posible monitorear el rectificado de ruedas y otras vibraciones en la máquina para asegurar que la máquina esté funcionando correctamente.

La detección temprana de problemas mecánicos es esencial para mantener bajo control las vibraciones de la máquina y el husillo, reduciendo los costos derivados, mejorando la calidad y la eficiencia. Esto se puede lograr mediante la evaluación precisa de las señales del sensor (vibración, temperatura y gravedad opcional). Los límites de alarma se pueden configurar individualmente y, si se exceden o caen por debajo de estos límites, se puede tomar una reacción definida de inmediato.

Marposs ofrece una cartera de productos completa que ayuda a mantener bajo control las máquinas que trabajan con materiales semiconductores.

Para más información: https://www.marposs.com/eng/

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